摘要: 

本发明公开了一种PVD镀膜件、电镀件的高精清洗工艺，包括依次设置的工序：水洗一段、气洗一段、水洗二段、水洗三段、水洗四段、气洗二段、水洗五段、皂化清洗、真空切水、碳氢清洗、蒸汽浴洗与干燥以及气相清洗，通过对各个工序中的真空度、清洗剂温度、超声波频率、清洗时间的控制以及清洗剂的选择，从而形成对PVD镀膜件、电镀件的高精清洗。本发明对污染物处理彻底，良率可提高到98％以上，工艺精减，大大减少了安装空间，采用环保的清洗剂，符合环保要求，减排废水97％以上，工序后段清洗剂可回收程度高，清洗成本低。

主权利要求: 

1.一种PVD镀膜件、电镀件的高精清洗工艺，其特征在于，包括依次设置的如下工序：

水洗一段，在真空度为-30～-75Kpa的真空条件下，将工件置于温度为75～85℃的碱性水基清洗剂中，同时将频率为28KHz、大小为60～100％超声波接入碱性水基清洗剂中，工件于碱性水基清洗剂中抛动480～720s；

气洗一段，首先进行抽气，对工件进行负压处理，至压力值为-80Kpa后，保持1～5s，再通入气体，对工件进行正压处理，至压力值为零，正负压作用反复交替，正负压作用的总时间为240～360s；

水洗二段，在真空度为-30～-75Kpa的真空条件下，将工件置于温度为55～85℃的水基清洗剂中，同时将频率为28KHz、大小为60～100％超声波接入水基清洗剂中，工件于水基清洗剂中抛动480～720s；

水洗三段，在真空度为-30～-75Kpa的真空条件下，将工件置于温度为45～50℃、质量浓度为40～50％的碱性水基清洗剂中，同时将频率为28KHz、大小为60～100％超声波接入碱性水基清洗剂中，工件于碱性水基清洗剂中抛动480～720s；

水洗四段，在真空度为-30～-75Kpa的真空条件下，将工件置于温度为65～75℃的酸性水基清洗剂中，同时将频率为28KHz、大小为60～100％超声波接入酸性水基清洗剂中，工件于酸性水基清洗剂中抛动240～360s；

气洗二段，首先进行抽气，对工件进行负压处理，至压力值为-80Kpa后，保持1～5s，再通入气体，对工件进行正压处理，至压力值为零，正负压作用反复交替，正负压作用的总时间为240～360s；

水洗五段，在真空度为-30～-75Kpa的真空条件下，将工件置于温度为65～75℃的酸性水基清洗剂中，同时将频率为28KHz、大小为60～100％超声波接入酸性水基清洗剂中，工件于酸性水基清洗剂中抛动240～360s；

皂化清洗，在真空度为-80Kpa的真空条件下，将工件置于温度为25～35℃的碳氢皂化剂中，同时将频率为28KHz、大小为60～100％超声波接入碳氢皂化剂中，工件于碳氢皂化剂中抛动480～720s；

真空切水，在真空度为-80Kpa的真空条件下，将工件置于温度为40～45℃的碳氢切水剂溶液中抛动480～720s；碳氢清洗，在真空度为-80Kpa的真空条件下，将工件置于温度为45～50℃的碳氢清洗剂中，同时将频率为28KHz、大小为60～100％超声波接入碳氢清洗剂中，工件于碳氢清洗剂中抛动480～720s；

蒸汽浴洗与干燥，在真空度为-90Kpa的条件下，先将工件置于温度为90～110℃的碳氢蒸汽中进行真空浴洗，清洗时间为30～60s，完成真空浴洗后，调整真空度为-100Kpa，并在温度为90～110℃条件下干燥480～720s；

气相清洗，在真空度小于4Pa的条件下，按100～400ml/分钟的速率通入无机气体，并在射频电源的作用下无机气体分解成高速运转的离子状撞击工件表面，形成真空条件下的气相清洗，清洗时间为180～360s，所述无机气体选自但不局限于O2、H2、N2、Ar2。